英特尔10nm的逻辑流程分析(坎农湖)

发布时间:2018年6月12日

Intel 10nm逻辑过程分析

Intel 10nm逻辑过程分析

TechInsights找到了人们期待已久的佳能湖——联想IdeaPad330所用的i3-8121U CPU内的英特尔10nm逻辑处理器。

这种创新主要有下列:

  • 每毫米100.8兆晶体管逻辑晶体管密度2,在14nm节点上增加10nm密度2.7X
  • 采用第三代FinFET技术
  • 最小栅距的英特尔10纳米工艺从70纳米缩小到54纳米
  • 最小金属间距从52纳米缩小到36纳米

过程强调:

  • 当前10nm与即将到来的7项纳米技术的最深缩放间距
  • 首先联合金属化和Ru使用在BEOL
  • 新的自对准图案方案在接触和BEOL

设计亮点:

  • 通过6.2轨道高密度库进行超缩放
  • 主动栅极(COAG)单元级使用

Intel 10nm逻辑过程分析

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